Среди вакуумной арматуры существует несколько подгрупп, к одной из которых относится запорная регулирующая арматура (различные натекатели, интегрируемые клапаны, угловые и проходные клапаны, затворы остаточного давления). Иная разновидность состоит из соединений, входящий в состав практически любой системы вакуума либо отдельного агрегата. Первая группа запорной арматуры используется в целях изоляции отдельного узла либо вакуумной камеры в целом, от механизма откачки, получение контроля над последовательностью этапов откачки, а также добавления воздушной массы либо газовой смеси внутрь камеры. Чтобы надежно и герметично смонтировать соединительные узлы вакуумных систем, используются разного рода фитинги, уплотнители, сильфоны и заглушки.

Разные виды вакуумной арматуры

Вакуумная арматура: что это

Данные элементы являются вспомогательным инструментом, обеспечивающим условия своих технических характеристик в системах с абсолютным рабочим давлением меньше 0,1 мПа. К вакуумной арматуре относятся такие виды вспомогательных устройств как:

  • Регулирующие и запорные вентили;
  • Затворы, имеющие большое поперечное сечение, предназначенное для открытия проходов газа;
  • Клапанные, трубчатые и игольчатые натекатели. Необходимы, чтобы точно дозировать малые порции обрабатываемой смеси, а также открывать поступление газа в следствие нагревания капиллярной трубки (относится к натекателю трубчатого типа);
  • Разного рода вводы, при помощи которых подключается электроэнергия, жидкие газы либо охлаждающая вода;
  • Смотровые окошки. Служат в качестве визирных ячеек, для наблюдения за протекающим процессом в вакуумной системе. В некоторых установках используется в качестве ввода порции необходимого излучения;
  • Специальные навесные устройства, чтобы передавать во внутрь вакуума механическое движение;
  • Вакуумметры. К запорной арматуре относятся только механические типы этих устройств, все остальные разновидности являются самостоятельной техникой.

Учитывая то, что для обеспечения нормальной работы вакуумного насоса и системы в целом, необходимо максимальная герметичность всех узлов и элементов, к вакуумной арматуре предъявляются высокие требования в соответствующей области. Таким образом, для производства этих деталей используются максимально плотные металлы либо пластик, а в качестве уплотнения применяются эластичные виды вакуумной резины, для подвижных штоков используют специальную конструкцию гибких сальников. Для систем, которые обеспечивают более высокий или сверхвысокий вакуум, в подвижных частях устанавливают сильфоны, а в местах соединений, социальные сорта термостойкой резины, пластичные материалы и пластмасс.

Что касаемо вакуумных клапанов, а также затворов, то здесь используется привод, который бывает ручным (КСВР, 3СВР), электромагнитным (КСВМ), электропневматическим (КСВП, ЗСВП).

Запорная арматура разной конструкции

Определение проводимости вакуумной запорной арматуры

С теоретической стороны в молекулярном режиме проводимость U, л/с, для воздуха (M = 28,8, T = 300 K) имеет следующие значения:

Для клапанов и затворов в вакуумных системах условным проходом d см, обозначенным размерами по ГОСТу 25197e/см: U=12.2dЗ\2е+0.7d (0.7 коэффициент поправки);

Проводимость вакуумного затвора условного прохода d см, со стремительной длиной Н см: U=12.2d3\Н.

Протекания газовых смесей с повышенной вязкостью обычно рассчитывается с применением теории подобия. Для такого рода систем значение проводимости зависит от размера сечения, эффективной длинны и рабочего диаметра, количества адиабаты газа, значения kn и иногда чисел М и Rе.

Вакуумная арматура KF

Этот вид вакуумной арматуры считается самым востребованным и популярным в организации современных систем создания и поддержания вакуума. Конструкция данных механизмов сочетает в себе два элемента: фланец в виде центрирующего металлического кольца и уплотнитель типа о-кольцо, сделанный из полимера. Такие фланцы применяются в системах, где максимальный уровень давления не превышает 10-8 мбар. Номиналы диаметров, которые существуют в продаже начинаются от 10 и заканчивается 50 мм. Организация механического скрепления и требуемого деформирования уплотнительного кольца обеспечивается использованием накидных хомутов. Таким образом, данная арматура является сборно-разборной и может использоваться много раз.

Зажимной фланец стандарта KF

Вакуумная арматура: каталог

Существует 5 основных стандартов вакуумной арматуры, для применения в системах низкого и высокого давления на производствах:

  1. Фланцы типа CF либо ConFlat. В основном, имеют медный уплотнитель или похожие по мягкости металлы.
  2. Фланцы стандарта ISO. Комплектуется эластомерными уплотнителями, используются только для диаметра трубопровода, начиная от 63 мм.
  3. Кольца с накидным хомутом KF/NW. В качестве материала для уплотнителя применяется вакуумная резина.
  4. Американский стандарт вакуумной арматуры ASA. Уплотнитель к данным фланцам изготавливается из вакуумной резины.
  5. Клипсы Quick-Connect. Являют собой зажимы, которые очень быстро устанавливаются и снимаются. В основном их используют для соединений стеклянных либо металлических труб. В качестве уплотнителя выступает резиновое кольцо, которое охватывает внешнюю поверхность трубы.

Клапаны для вакуумных систем

К перечню данных устройств относятся:

  • Шиберы;
  • Вакуумные клапаны углового типа;
  • Прямоточные вакуумные клапаны;
  • Баттерфляй клапаны;
  • Регулируемые натекатели;
  • Абсолютно металлические угловые, а также прямоточные клапаны.

Запорный клапан

Натекатель для подачи в вакуум

В зависимости от силы и прецизионности создания потока воздуха или иного вещества в вакуумную среду, различают такие классификации устройств как:

  • Максимально прецизионный натекатель, способный обеспечить сверхмалый поток напуска;
  • Натекатель игольчатого типа, для организации потока в высоковакуумных установках;
  • Специально разработанные натекатели для среднего и низкого вакуума, которые могут обеспечить ввод максимально точной порции воздуха либо газа.

Ручной натекатель подачи газа камеры

Вакуум затворы

Самыми ходовыми и везде применяемыми типами затворов считаются:

  • Стандартизованные затворы для простейших вакуумных агрегатов;
  • Затворы из алюминия;
  • Затворы миллионники, при прохождении соответствующего количества циклов требуется их замена;
  • Затворы для вакуумных систем, перекачивающих агрессивные смеси и абразивы.

Затворы для вакуумных трубопроводов

Компоненты для высокого уровня вакуума

  • Паромасляные улавливатели;
  • Сорбционные вакуумные насосы;
  • Сильфоны высокого давления, где используется специальный полимер для организации уплотнения.

Вводы электричества и жидкости в вакуумную среду

Для производства токовводящих деталей используется совмещение керамического материала и металла. Благодаря тому, что применяемая алюмооксидная керамика в сочетании с металлом, имеет довольно маленький коэффициент расширения при термической нагрузке, что обеспечивает очень надежную герметичную систему, практически не подвергаемую износу. Посредством токоввода в вакуумные камеры и резервуары подают электрический ток, разряд высокого напряжения или выводят из вакуумной среды импульсы сигналов, которые издают разного рода инструменты и датчики, размещенные внутри камеры.

Вакуумные вводы для электричества

Помимо электричества, существуют вводы жидкости, через которое в вакуум подается охлаждение либо жидкий азот.

Вводы движения в вакууме

Существует три способа таких вводов: в вакуумную камеру поступает вращательное движение, линейное либо комбинированные движения.

Для точного регулирования движения вводов применяется микрометр, который передает необходимый сигнал шнековому механизму. Чтобы обеспечить максимальную герметичность и создать возможность применения данной системы в высоковакуумный камерах, используются приводы с приваренным сифоном.

Ввод поступательного движения для вакуумной камеры

Вводы для вращения в вакууме

Как видно из названия, устройство обеспечивает передачу вращательного движения внутри вакуумной камеры. Реализация такого действия требует создания повышенной герметизации подвижных частей, взаимодействующих с вакуумным объемом. Поэтому, в качестве составных частей применяются только наилучшие материалы, из-за чего увеличивается себестоимость такого вида запорной арматуры.

Ввод вращательного движения в вакуум

Вакуумная арматура: купить

Учитывая огромный ассортимент данных деталей, а также разнообразие их производителей, для правильного выбора магазина следует внимательно ознакомиться с его историей продаж и отзывов. Не забывайте тот факт, что если сэкономить на покупке запорной арматуры, например, купив ее из Китая, то вы можете только увеличить свои расходы на организацию вакуумной системы, так как через короткий промежуток времени, все равно придется покупать качественную вакуумную арматуру. Купить продукцию у надежного поставщика вы без проблем сможете в Москве и Мо, также вам помогут составить правильный перечень необходимых деталей для максимально эффективного использования вашей вакуумной системы.